用于微结构晶片检测的光学系统

张开发
• 2026/4/3 16:22:17 • 15 分钟阅读

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用于微结构晶片检测的光学系统
摘要在半导体工业中晶片检测系统被用来检测晶片上的缺陷并找到它们的位置。为了确保微结构所需的图像分辨率检测系统通常使用高NA物镜并且工作在UV波长范围内。作为例子我们建立了包括高NA聚焦和光与微结构相互作用的完整晶片检测系统的模型并演示了成像过程。任务描述微结构晶圆通过在堆栈中定义适当形状的表面和介质来模拟诸如在晶片上使用的周期性结构的栅格结构。然后该堆栈可以导入到各种不同的组件中具体取决于预期用途。在这种情况下我们将堆栈加载到一般光学设置中的一个光栅组件中以便模拟整个系统。有关详细信息请参阅用于通用光学系统的光栅元件微结构晶片的角度响应该光栅组件使用傅里叶模态法(FMM)也称为严格耦合波分析(RCWA)其运作在k域中。当入射大NA光束时需要考虑在k域中有足够数量的采样点来解决角度敏感效应。在光栅组件的求解器区域中用户可以轻松地调整此参数以确保快速而准确的模拟。大NA物镜Lens System Component允许轻松定义由光滑表面和均匀、各向同性介质的交替序列组成的组件。在界面和材料方面可以从内置目录中选择现成的条目也可以定制自己的条目以实现最大的灵活性。通用探测器和探测器插件通用探测器可以评估入射场并通过所谓的附加组件计算各种物理量。作为结果所提供的附加组件之一提供了空间域中的辐照度。有关详细信息请参阅通用探测器非序列追迹将通道配置模式切换设置为手动配置后用户可以为系统中的每个表面指定要为模拟打开哪些通道。当运行模拟时将执行活动光路的初步分析(通过所谓的光路查找器)。然后引擎将沿着这些光路追迹磁场直到系统中的探测器。用于非序列追迹的通道设置总结-组件系统印象场追迹结果结果的非对称光栅的非对称性也导致干涉中的轻微不对称性。可以在结果中识别光栅是否镜像结果也将显示为镜像。VirtualLab Fusion技术

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