11：机台电气基础——供电、安全回路与EPO

#11机台电气基础——供电、安全回路与EPO一、本课学习目标了解半导体机台基本供电结构看懂强电/弱电区分掌握安全回路作用明白机台为什么要做联锁认识EPO紧急停止知道触发后机台会发生什么建立EAP在电气安全层面的基本常识不踩安全红线二、机台供电基础强电 vs 弱电1. 强电动力电用途给电机、加热器、真空泵等大功率部件供电特点电压高、电流大、危险性高EAP一般不操作、不接线只看状态2. 弱电控制电用途PLC、传感器、电磁阀、通信模块特点24V DC为主安全稳定EAP日常对接、排查的主要就是这部分3. 机台供电简化流程外部供电 → 总电源开关 → 电源模块 → 强电/弱电分离 → 各部件供电三、安全回路Safety Loop核心知识1. 什么是安全回路机台内置的强制保护电路任何一个安全点断开整个回路断开机台强制停机不受PLC程序控制硬件级保护2. 安全回路包含哪些部分EPO 紧急停止按钮安全门开关安全光栅机械手安全限位急停拉线开关3. 安全回路逻辑任何安全信号触发 → 安全继电器断开 → 切断动力输出 → 机台急停EAP 绝对不能短接、屏蔽安全回路信号属于严重违规。四、EPO 紧急停止Emergency Power Off1. EPO 是什么红色蘑菇头急停按钮全台最高优先级的停机信号2. 触发 EPO 后会发生什么立刻切断所有电机、运动机构电源切断真空、气体等执行机构机械手停止、腔室动作停止机台进入急停报警状态必须手动复位才能恢复3. EPO 信号类型通常是常闭信号正常回路通按下回路断 → 触发急停五、机台常见电气安全元件1. 安全继电器负责监控整个安全回路一个异常全部切断2. 接触器/继电器小信号控制大电流PLC 的 DO 控制继电器 → 继电器控制强电3. 断路器/空开过载、短路时自动跳闸保护机台和人员安全4. 电源模块把 220V 转为 24V DC给 PLC、传感器、电磁阀供电六、电气信号与 EAP 的对应关系1. 安全相关信号EPO 触发 → DI 信号安全门开 → DI 信号安全回路正常 → DI 信号2. 供电状态信号主电源正常 → DI控制电源正常 → DI低压电源异常 → DI/报警3. EAP 能做什么读取安全状态监控急停、门状态上传安全报警给MES/SECS/GEM不能控制、不能屏蔽安全回路七、典型安全逻辑场景场景1按下EPOEPO按下 → 安全回路断开 → 安全继电器动作 → 切断动力 → 所有运动停止 → 报警上送场景2打开安全门安全门微动开关断开 → 安全回路异常 → 禁止机械手动作 → Interlock 触发场景3电源掉电控制电源丢失 → PLC 停机 → 所有输出复位 → 机台进入故障状态八、EAP 必须遵守的电气安全规则不触碰强电部分只处理24V控制回路不短接任何安全开关、门开关、EPO回路机台报警先看安全回路不强行运行安全信号异常优先通知设备工程师EAP 只做监控与上传不修改安全逻辑九、本课核心总结机台电分强电动力和弱电控制EAP只接触弱电安全回路是硬件保护任何点异常都会整机停机EPO是最高优先级触发后全机强制停止安全信号基本都是DI输入EAP只监控不控制安全回路绝对禁止屏蔽、短接、绕过十、课后小作业区分强电与弱电各举2个机台例子安全回路包含哪些部件EPO触发后机台会发生哪些变化为什么EAP不能短接安全门信号